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수상 [수상] 박성진(연세대) 회원 제3회 한국실리콘학회 학술발표회 우수 논문상 수상
2014.02.17 11:56
박성진 회원은 제3회 한국실리콘학회 학술발표회에서 다음의 연구결과를 발표하여 2014년 2월 14일 우수 논문상을 수상하였습니다.
Cyclosilane-Polysiloxane Hybrid Materials for Silicon-Based Anti-Reflective Spin-On Hardmask
박성진, 조현모,* 이명의* (연세대학교)