Çѱ¹½Ç¸®ÄÜÇÐȸ ½Ç¸®Äܼ¼°è
KSiS SILICON WORLD (Vol. 1, No.1)

July, 2012

 

 

¹«±â°íºÐÀÚÈ­ÇÐÀÇ °³¿ä

 

¿ìÈñ±Ç Àü³²´ëÇб³ È­Çаú ±³¼ö

 

 

1. ¹«±â°íºÐÀÚÀÇ Åº»ý ¹è°æ°ú ½Å¼ÒÀç·Î¼­ÀÇ Á߿伺

½Å¼ÒÀç´Â ±âÁ¸ÀÇ Àç·á¿Í´Â ´Ù¸¥ ¶Ù¾î³­ Ư¼º°ú »õ·Î¿î ±â´ÉÀ» °®°í ÀÖ´Â ¹°ÁúÀ» ÀÏÄÃÀ¸¸ç, Àηù¹®¸íÀº ÀÌ·± ½Å¼ÒÀçÀÇ Åº»ý°ú ÇÔ²² ¹ßÀüÀ» °ÅµìÇÏ¿© ¿Ô´Ù. ±Ù´ë¿¡ µé¾î °ª½Î°í dzºÎÇÑ¿øÀ¯·ÎºÎÅÍ »ÌÀº ¼ººÐÀ¸·Î Á¦Á¶ÇÑ Çöó½ºÆ½, ¼öÁö, ¼¶À¯ µîÀÇ ¼®À¯Á¤¹ÐÈ­ÇÐÀÇ ¹ß´Þ·Î Àηù´Â dz¿ä·Î¿î »ýÈ°À» ¿µÀ§ÇÏ¿©¿Ô´Ù. ±×·¯³ª ź¼Ò¸¦ ÁÖ¼ººÐÀ¸·Î ÇÏ´Â ¿¡³ÊÁö¿øÀÎ ¿øÀ¯ ¸ÅÀå·®ÀÇ ±Þ°¨¿¡ µû¸¥ ¿øÀ¯°¡°ÝÀÇ ±Þ°ÝÇÑ »ó½Â°ú ´ë±âȯ°æ¿À¿°À¸·Î ÀÎÇÑ Áö±¸È¯°æÀÇ ½É°¢ÇÑ ÀÌ»ó º¯È­·Î ¼¼°è °æÁ¦¿Í Á¤Ä¡»óȲÀÌ ¿äµ¿Ä¡°í ÀÖ´Ù. ±×¸®ÇÏ¿© ź¼Ò ÀÌ¿ÜÀÇ ¿ø¼Ò·Î ±¸¼ºµÈ ûÁ¤ ¿¡³ÊÁö¿ø°ú ½Å¼ÒÀçÀÇ °³¹ßÀÌ Áß¿ä°úÁ¦·Î ´ëµÎµÇ°í ÀÖ´Ù. ÇöÀç ¿ì¸®³ª¶ó¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ ¼¼°è ¼±Áø±¹µé °£¿¡ ¿©·¯ ÷´Ü ±â¼ú ºÐ¾ß¿¡¼­ °íºÎ°¡ ±â´É¼º ½Å¼ÒÀç °³¹ß °æÀïÀ» Ä¡¿­ÇÏ°Ô ¹úÀÌ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÀÌ°ÍÀº °ð ±× ³ª¶ó Á¸¸Á°ú Á÷°áµÈ´Ù. [±×¸² 1: ÷´Ü ½Å¼ÒÀç ±â¼ú·Î Á¦Á¶µÈ ÃֽŠ±â±â: ±¹»ê ÅÊÅ©, ±¹»ê ÀÚ±âºÎ»ó¿­Â÷, ¹Ì±¹ ¿ìÁÖ¿Õº¹¼±, ¿µ±¹Á¦ ÇÙÀá¼öÇÔ].

 

½Å¼ÒÀç´Â Å©°Ô °íºÐÀÚ, ±Ý¼Ó, ¼¼¶ó¹ÍÀ¸·Î ³ª´­ ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÌ Áß¿¡¼­ ±Ý¼ÓÀº ÃÖ±Ù »õ·Î¿î Çձݿ¡ ´ëÇÑ ¿¬±¸°¡ È°¹ßÇÏ°Ô ÀÌ·ç¾îÁö°í ÀÖ°í ¿¬¼º, Àü¼º, Àüµµ¼º µîÀÌ ¶Ù¾î³ª°í °í¿Â¿¡µµ Àß °ßµðÁö¸¸ ÀϹÝÀûÀ¸·Î ¹«°Ì°í, ºÎ½ÄµÇ±â ½¬¿ì¸ç ¿ø±¤¿¡¼­ ¼±±¤, Á¦·Ã±îÁö ¸¹Àº ³ë·Â°ú ¿¡³ÊÁö°¡ ÇÊ¿äÇÑ ´ÜÁ¡À» Áö´Ñ´Ù. ¼¼¶ó¹ÍÀº ¿­, »êÈ­¿¡ Àß °ßµð°í ¼ºÇüÀÌ ½¬¿ì³ª ¹«°Ì°í Ãæ°Ý¿¡ ºÎ¼­Áö±â ½±´Ù. °íºÐÀÚ´Â Å©°Ô À¯±â °íºÐÀÚ¿Í ¹«±â °íºÐÀÚ·Î ³ª´­ ¼ö°¡ ÀÖ°í, ¿ä»çÀÌ ±â´É¼ºÀ» °®´Â ¹«±â°íºÐÀÚ¿¡ °üÇÑ ¿¬±¸°¡ È°¹ßÇÏ°Ô ÀÌ·ç¾îÁö°í ÀÖ´Ù. ÀϹÝÀûÀ¸·Î À¯±â°íºÐÀÚ´Â °ª½Î¸ç °¡º±°í, Àß »êÈ­ ºÎ½ÄµÇÁö ¾ÊÀ¸¸ç, ³·Àº ¿Âµµ¿¡¼­µµ ¼ºÇü °¡´ÉÇÏ°í, ¿ì¼öÇÑ Àü±â Àý¿¬Ã¼·Î ÀÛ¿ëÇÏÁö¸¸ Ư¼öÇÑ °æ¿ì Àüµµ¼ºÀ» °¡Áö±âµµ ÇÑ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ À¯±â°íºÐÀÚÀÇ ÀåÁ¡¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í ¸î °¡Áö Ä¡¸íÀû ´ÜÁ¡À» °®°í ÀÖ´Ù: (1) ±ØÇÑ ¿Âµµ¿¡¼­ »ç¿ë½Ã °æµµ(hardness)¿Í ÃëÈ­µµ(brittleness) ¹®Á¦Á¡ (2) Àå½Ã°£ °í¿Â °¡¿­½Ã ³ì°Å³ª ½±°Ô ºÐÇØ°¡ ÀϾ¸ç ÀÎü¿¡ ÇØ·Î¿î µ¶°¡½º ¹èÃâ (3) Àå½Ã°£ Àڿܼ± Á¶»ç½Ã ºÐÇØ È¤Àº º¯¼ºÀÌ ÀϾ (4) À¯±â°íºÐÀÚ¿¡´Â ¾ø°í ¹«±â°íºÐÀÚ¿¡ ±¹ÇÑµÈ Æ¯¼ö ±â´É¼º (±Ý¼Ó¼º). ÀÌ·¯ÇÑ À¯±â°íºÐÀÚ°¡ °¡Áö´Â ´ÜÁ¡À» ±Øº¹Çϱâ À§ÇØ ¹«±â°íºÐÀÚ¿Í ¹«±â-À¯±â È¥¼º°íºÐÀÚ°¡ °³¹ßµÇ¾ú´Ù. °íºÐÀÚ´Â »ý¼º ¿øÀκ°·Î õ¿¬°íºÐÀÚ (¿¹: ´Ü¹éÁú, ÇÙ»ê, ³ì¸», ¼¿·ê·Î½º, Űƾ µî)¿Í ÀÎÁ¶°íºÐÀÚ (¿¹: Æú¸®¿¡½ºÅ׸£, ³ªÀÏ·Ð, Æú¸®ºñ´Ò, Æú¸®¿ì·¹Åº, Æú¸®Ä«º¸³×ÀÌÆ®, PET, PVC µî)·Î ³ª´µ¸ç, ¿ëµµº°·Î ±¸Á¶¼º °íºÐÀÚ¿Í ±â´É¼º °íºÐÀÚ (¿¹: Àü±â¹ß±¤, ±¤¹ß±¤, ºñ¼±Çü±¤ÇÐ, ¾×Á¤, »ýºÐÇؼº, ¾àÇ°Àü´Þ, ºÐ¸®¼º, ÀüÇØÁú, ºÒ¿¬¼º, ±¤ºÐÇØ µî)·Î ³ª´­ ¼ö ÀÖ°í, ¼ººÐº°·Î À¯±â°íºÐÀÚ, ¹«±â- ±â È¥¼º°íºÐÀÚ, ¹«±â°íºÐÀÚ·Î ´ëº°µÈ´Ù.

 

2. ¹«±â°íºÐÀÚÀÇ Á¾·ù

¹«±â°íºÐÀÚ´Â ¹«±â¿ø¼Ò¸¦ °íºÐÀÚ Áֻ罽 ¶Ç´Â °ç»ç½½¿¡ Æ÷ÇÔÇÏ´Â °íºÐÀÚ¸¦ ÀÏÄ´´Ù. ¿©±â¼­ ¹«±â ¿ø¼Ò´Â Á¼°Ô´Â °¢Á¾ ±Ý¼Ó (s¿Í p ±Ëµµ¸¦ ä¿ì´Â ¾Ë·ç¹Ì´½, ¸¶±×³×½·°ú °°Àº ÀüÇü±Ý¼Ó, d ±Ëµµ¸¦ ä¿ì´Â ƼŸ´½, Áö¸£ÄÚ´½, ÅÖ½ºÅÙ°ú °°Àº ÀüÀ̱ݼÓ, f ±Ëµµ¸¦ ä¿ì´Â ¶õźÁ·-¾ÇƼ´½Á·°ú °°Àº ³»ºÎÀüÀ̱ݼÓ)¸¸À» ÀǹÌÇÏÁö¸¸ ³Ð°Ô´Â ºñ±Ý¼Ó°è ¹«±â¿ø¼ÒÀÎ Si, Ge, P, B, S, O, N µîÀÇ ¿ø¼Òµé·Î °ñ°ÝÀ» ÀÌ·é °Íµµ Æ÷ÇÔÇÑ´Ù. ¹«±â°íºÐÀÚ´Â ´ÙÀ½ÀÇ ¼¼ °¡Áö À¯ÇüÀ¸·Î Å©°Ô ³ª´«´Ù. ù°, ¹«±â ¼ººÐÀÌ À¯±â°íºÐÀÚÀÇ °ç»ç½½¿¡ Æ÷ÇÔµÈ °æ¿ì·Î¼­ À¯±â°íºÐÀÚÀÇ ¼ººÐ ¼ºÁúÀº °ÅÀÇ À¯ÁöÇÑ Ã¤ °ç»ç½½¿¡ Æ÷ÇÔµÈ ¹«±â¼ººÐÀÇ ¼ºÁú ¶ÇÇÑ ³ªÅ¸³½´Ù. µÑ°, ¹«±â ¿ø¼Ò¸¦ °íºÐÀÚ Áֻ罽ÀÇ °ñ°Ý¿¡ ź¼Ò¿Í ÇÔ²² µµÀÔÇϰųª ´Üµ¶À¸·Î µµÀÔµÈ °æ¿ì. ¼Â°, ¼¼¶ó¹Í Á¦Á¶¸¦ À§ÇÑ Àü±¸Ã¼ ¿ªÇÒÀ» Çϵµ·Ï ¼³°èµÈ À¯±â-¹«±â È¥¼º°íºÐÀÚÀÇ °æ¿ì. ³Ý°, ¼ø¼öÇÏ°Ô ¹«±â¼ººÐ¸¸À¸·Î ±¸¼ºµÈ ¸Á»ó±¸Á¶ ¶Ç´Â °ÝÀÚ±¸Á¶¸¦ °¡Áö´Â ÀÌ¿ÂÈ­ÇÕ¹°ÀÇ °æ¿ì°¡ ÀÖ´Ù. ¹«±â ¼ººÐÀÌ À¯±â°íºÐÀÚÀÇ °ç»ç½½¿¡ Æ÷ÇÔµÈ ¹«±â°íºÐÀÚÀÇ ÇÕ¼º¿¡´Â ÁÖ·Î ¹«±â¼ººÐÀ» ġȯ±â·Î ÇÏ´Â ºñ´Ò´ÜÀ§Ã¼ (vinyl monomers; CH2=CH-X ÇüÅÂ)°¡ ÁÖ·Î »ç¿ëµÈ´Ù. ¿©±â¼­ ¹«±â¼ººÐ ġȯ±â·Î¼­ Si(CH3)3, Si(OCH2CH3)3, SiCl3, SiH3, OSi(CH3)3, Ge(CH3)3, Sn(CH3)3, O=P(C6H5)2, phosphazene (N=P)3, borazine (BH=NH)3, metallocene (¿¹: ferrocene), pyridine-±Ý¼Ó µîÀÌ ÀÖ´Ù. ÀÌµé ºñ´Ò ´ÜÀ§Ã¼µéÀ» ¿©·¯ °¡Áö °³½Ã ¹æ¹ý(¿¹: ¶óµðÄ® ÁßÇÕ, ÀÌ¿ÂÁßÇÕ, ¹èÀ§ÁßÇÕ)À» »ç¿ëÇÏ¿© ÁßÇÕ½ÃÄÑ °íºÐÀÚ¸¦ ¾ò´Â´Ù. Áֻ罽¿¡ ±Ý¼Ó°è ¹«±â¼ººÐÀ» °¡Áø °íºÐÀڷμ­ Áö±Û·¯-³ªÅ¸ ¿Ã·¹ÇÉ ÁßÇսà Á¶Ã˸ŷΠ»ç¿ëµÇ´Â methylaluminoxane (-(Me)AlO-) ¿Ü¿¡ ±Ý¼Ó Âø¹° (¿¹: ¸ÞÅ»·ÎÆúÇǸ°)°ú 2°³ ¹èÀ§±â¸¦ °¡Áø ¸®°£µå (¿¹: dipyridine)°¡ ¹èÀ§¿¡ ÀÇÇØ Çü¼ºµÈ °ÍÀÌ ÀÖ´Ù. Áֻ罽¿¡ ºñ±Ý¼Ó°è ¹«±â¼ººÐÀ» °¡Áø °íºÐÀڷμ­ Æú¸®Æ÷½ºÆÄÁ¨ (polyphosphazene; -R2P=N- °áÇÕÀ» Áֻ罽¿¡ °¡Áü), Æú¸®º¸¶óÁø (polyborazine; -BH=NH- °áÇÕÀ» Áֻ罽¿¡ °¡Áü), Æú¸®½Ç·Ï¼¼ÀÎ (polysiloxane; -R2Si-O- °áÇÕÀ» Áֻ罽¿¡ °¡Áü), Æú¸®½Ç·¹ÀÎ (polysilane; -R2Si- °áÇÕÀ» Áֻ罽¿¡ °¡Áü), Æú¸®½Ç¶óÁ¦ÀÎ (polysilazane; -R2Si-NH- °áÇÕÀ» Áֻ罽¿¡ °¡Áü) µîÀÌ ÀÖ´Ù. ¼¼¶ó¹Í Á¦Á¶¸¦ À§ÇÑ Àü±¸Ã¼ ¿ªÇÒÀ» Çϵµ·Ï ¼³°èµÈ À¯±â-¹«±â È¥¼º°íºÐÀÚÀÇ °æ¿ì·Î¼­ µÎ ¹ø° °æ¿ì¿¡¼­ ±â¼úÇÑ Áֻ罽¿¡ ºñ±Ý¼Ó°è ¹«±â¼ººÐÀ» °¡Áø °íºÐÀÚ °ÅÀÇ ÀüºÎ°¡ ÀÌ¿¡ ÇØ´çµÈ´Ù. ¼ø¼öÇÏ°Ô ¹«±â¼ººÐ¸¸À¸·Î ±¸¼ºµÈ À̿¼º/»êÈ­ °íºÐÀÚÈ­ÇÕ¹°ÀÇ °æ¿ì·Î¼­ ½Ç¸®Ä« (SiO2), ¾Ë·ç¹Ì³ª (Al2O3), Á¦¿Ã¶óÀÌÆ® (Mx/n[(AlO2)x.(SiO2)y].H2O), ¼Ò±Ý (NaCl), Zinc blende/Wurtzite (ZnS), Perovskite (CaTiO3), Çü¼® (CaF2), ƼŸ´Ï¾Æ (TiO2), Áö¸£ÄÚ´Ï¾Æ (ZrO2) µî ¸¹Àº ±¤¹°ÀÌ ÀÌ¿¡ ÇØ´çµÈ´Ù. ÀÌµé ¼ø¼ö ¹«±â°íºÐÀÚµéÀº Ã˸Å, ´ãü, °ÇÁ¶Á¦, º¸°­Àç, º¸¼®, ¿¬¸¶¼® µî ÀÌ·ç Çì¾Æ¸± ¼ö ¾øÀÌ ¸¹Àº ºÐ¾ß¿¡ ÀÀ¿ëµÈ´Ù.

 

3. ¼¼¶ó¹Í Á¦Á¶¸¦ À§ÇÑ Àü±¸¹°Áú·Î¼­ ¹«±â°íºÐÀÚÀÇ »ç¿ë

¹«±â°íºÐÀÚÀÇ ¸¹Àº ÀÀ¿ëºÐ¾ß Áß¿¡ ¼¼¶ó¹Í Àü±¸Ã¼·ÎÀÇ »ç¿ëÀÌ µÎµå·¯Áø´Ù. ¼¼¶ó¹ÍÀÇ ¿ëµµ´Â ÀÏ¹Ý ¼Ò¸ðÇ°¿¡¼­ºÎÅÍ Ã·´Ü ±â±â±îÁö ±× ÀÀ¿ëºÐ¾ß°¡ ´Ù¾çÇÏ´Ù. ¼¼¶ó¹ÍÀº Å©°Ô »êÈ­¼º ¼¼¶ó¹Í°ú ºñ»êÈ­¼º ¼¼¶ó¹ÍÀ¸·Î ºÐ·ùµÈ´Ù. ±Ô¼Ò(Silicon, Si)´Â Áö°¢ÀÇ ÁÖ¿ä ±¸¼º ¼ººÐÀ¸·Î¼­ »ê¼Ò ´ÙÀ½À¸·Î ¸¹ÀÌ Á¸ÀçÇÑ´Ù. ÀÌ ±Ô¼Ò´Â ÀÚ¿¬ »óÅ¿¡¼­ ¿©·¯ ±Ý¼Ó°ú »ê¼Ò¿Í ÇÔ²² °áÇÕÇÏ¿© ´Ù¾çÇÑ ±Ô»ê¿°(silicate, xM(I)2O.ySiO2)À» Çü¼ºÇϱ⵵ ÇÏ°í, ¶ÇÇÑ ¿©·¯ Àü±âÀû ¾ç¼º ¿ø¼Òµé°ú Á÷Á¢ °áÇÕÇÏ¿© À̼ººÐ È­ÇÕ¹°ÀÎ ±Ô¼ÒÈ­ÇÕ¹°(silicides)À» ¸¸µé±âµµ ÇÑ´Ù. »ç½Ç ±Ô»ê¿°ÀÇ -Si-O°¡ ´ÜÀÏ °áÇÕÀ¸·Î ÀÖÁö ¾Ê°í, Si=O¿Í °°ÀÌ ÀÌÁß °áÇÕÀ¸·Î ÀÖ¾ú´õ¶ó¸é Áö±¸, Áö±¸ÀÚ±â, Áß·Â, ´ë±â ¹× »ý¸íü´Â °áÄÚ Á¸ÀçÇÒ ¼ö ¾ø¾úÀ» °ÍÀÌ´Ù. º»°í¿¡¼­´Â ±Ô¼Ò¿Í ºñ±Ý¼Ó°£ÀÇ À̼ººÐ È­ÇÕ¹° ¼¼¶ó¹Í Áß¿¡¼­ ƯÈ÷ ºñ»êÈ­¼º ¼¼¶ó¹ÍÀΠźȭ±Ô¼Ò(SiC)¿Í ÁúÈ­±Ô¼Ò(Si3N4) ¼¼¶ó¹ÍµéÀÇ Á¦Á¶ ¹× ÀÌµé ¼¼¶ó¹Í°ú ±Ý¼Ó°£ÀÇ ¼¼¸ä(cermet) Á¦Á¶¿¡ ±¹ÇÑÇÏ¿© ±â¼úÇϱâ·Î ÇÏ°Ú´Ù. ±× ÀÌÀ¯´Â źȭ±Ô¼Ò¿Í ÁúÈ­±Ô¼Ò ¼¼¶ó¹ÍµéÀº °í¿Â¿¡¼­ ¿­ÀûÀ¸·Î, ±×¸®°í È­ÇÐÀûÀ¸·Î ¾ÈÁ¤ÇÏ°í, ±»°í °­µµ°¡ ¼¼¹Ç·Î ±× ¿ëµµ°¡ ´Ù¾çÇϱ⠶§¹®ÀÌ´Ù. ±×¸®ÇÏ¿© ÀÌµé ¼¼¶ó¹ÍµéÀº ¿ìÁÖ, Ç×°ø, ¼±¹Ú, ÀÚµ¿Â÷, ¹Ì»çÀÏ µî ¹æ»ê ¹«±âü°è, Àü±â, ÀüÀÚ, Á¦Ã¶»ê¾÷, ¿øÀڷλç¾÷, ¼±¹Ý-°ÇÃà¿ë ±â°è, ½ºÆ÷Ã÷ Á¦Ç°ÀÇ Á¦Á¶¿¡ ³Î¸® ¾²ÀÌ°í ÀÖ´Ù. ÀüÅëÀûÀ¸·Î SiC´Â ±Ô»ç¿Í ÄÚÅ©½º¸¦ ¼Ò±Ý, Åé¹ä°ú ÇÔ²² Àü±â·Î¿¡¼­ °í¿Â ¹ÝÀÀÀ» ÀÏÀ¸ÄÑ Á¦Á¶Çϸç, Si3N4´Â ±Ô¼Ò¿ø¼Ò¸¦ Á÷Á¢ ÁúÈ­½ÃÅ°°Å³ª SiCl4¿Í NH3À» ±â»ó ¶Ç´Â ¾×»ó¿¡¼­ ¹ÝÀÀ½ÃÄÑ ¾ò´Â´Ù. ÀÌ ¹æ¹ýÀ¸·Î Á÷Á¢ Á¦µµµÈ SiC¿Í Si3N4´Â ¿¬¸¶Á¦ µî ´ëºÎºÐÀÇ ¿ëµµ·Î¼­´Â »ç¿ëÇϱ⿡ ºÒÆíÇÔÀÌ ¾øÀ¸³ª, Ưº°ÇÑ ¿ëµµ¸¦ À§ÇØ ÀÌµé ¼¼¶ó¹ÍÀ» Çʸ§À̳ª ¼¶À¯ ÇüÅ·ΠÁ¦Á¶ÇϱâÀ§Çؼ­´Â °¡°øÇϱâ Æí¸®ÇÑ ¿ëÇؼº ¶Ç´Â ¿ëÀ¶¼ºÀ» °®´Â Áß°£ ¹°ÁúÀ» °ÅÃļ­ °í¿Â ó¸®ÇÏ¿© Á¦Á¶ÇÏ¿©¾ß ÇÑ´Ù. ±×·¯¹Ç·Î SiC¿Í Si3N4 ¼¼¶ó¹ÍÀÇ Á¦Á¶¸¦ À§ÇÑ ¼±±¸¹°Áú·Î¼­ ÃÖ±Ù¿¡ ¸¹ÀÌ ¾²ÀÌ°í ÀÖ´Â À¯±â±Ô¼Ò °íºÐÀÚµéÀÇ Á¦Á¶ ¹× ¿­ºÐÇØ¿¡ ´ëÇؼ­ ¸ÕÀú ±â¼úÇϱâ·Î ÇÏ°Ú´Ù.

¿ì¼± À¯±â±Ô¼Ò °íºÐÀÚ°¡ ÀûÀýÇÑ ¼±±¸¹°ÁúÀÌ µÇ±â À§Çؼ­´Â ±×µéÀÇ Á¦Á¶¸¦ À§ÇÑ ¿ø·á ´ÜÀ§Ã¼°¡ °ª½Î°í ½±°Ô ±¸ÇÒ ¼ö°¡ ÀÖ¾î¾ß Çϸç, ºÐÀÚ ³» Si¿Í CÀÇ Á¶¼º ºñÀ²ÀÌ 1:1¿¡ °¡±î¿ö¾ß ÇÏ°í ÁßÇÕ¹ÝÀÀÀÇ ¼öÀ²ÀÌ ³ô¾Æ¾ß ÇÑ´Ù. ¶ÇÇÑ À¯±â±Ô¼Ò °íºÐÀÚ´Â °¡°øÇϱâ Æí¸®Çϵµ·Ï ¿ëÇؼº EH´Â ¿ëÀ¶¼ºÀÌ Ä¿¾ß Çϸç, °æÁ¦ÀûÀÎ ÀÌÀ¯·Î °í¿Â¿¡¼­ ¼¼¶ó¹ÍÀ¸·Î º¯ÇÒ ¶§ ¼¼¶ó¹Í ÀÜ¿© ¼öÀ²ÀÌ ³ô¾Æ¾ß ÇÑ´Ù. ¸¸ÀÏ À¯±â±Ô¼Ò °íºÐÀÚ ¾È¿¡ Si¿Í CÀÇ Á¶¼º ºñÀ²ÀÌ 1:1ÀÌ ¾Æ´Ï°í Si°¡ ´õ ¸¹À» ¶§´Â SiÀÇ ¿ëÀ¶Á¡ÀÌ 1410¡ÉÀ̱⠶§¹®¿¡ °í¿Â¿¡¼­ ¼¼¶ó¹Í °¡°ø¿¡ ºÒ¸®ÇÏ´Ù. ÇÑÆí C°¡ ´õ ¸¹À» ¶§´Â °ø±â Áß¿¡¼­ ¿­ºÐÇØ ÇÒ ¶§ COx±âüµé·Î ¹æÃâµÇ¹Ç·Î ¼¼¶ó¹Í ¸öü¿¡ ±Õ¿­ÀÌ °¡°í ¿ø·¡ÀÇ °¡°ø ÇüÅ°¡ À¯ÁöµÇÁö ¾Ê´Â µîÀÇ ´ÜÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù. ¹°·Ð À¯±â±Ô¼Ò °íºÐÀÚ ³» Si¿Í CÀÇ Á¶¼º ºñÀ²ÀÌ 1:1À̶ó ÇÒÁö¶óµµ ¸¹Àº °æ¿ì ¿­ºÐÇØ °úÁ¤ Áß Si¿Í CÁß ¾î´À ÇÑ ºÎºÐÀÌ ´õ ¸¹ÀÌ Á¦°ÅµÇ¾î, ¾î´À ÇÑ ÂÊÀÌ °ú·®À¸·Î ¼¼¶ó¹Í ³» ÀÜ·ùÇÏ°Ô µÉ ¼ö ÀÖ´Ù. SiC¿Í Si3N4 ¼¼¶ó¹ÍÀº ÀϹÝÀûÀ¸·Î 1000 ¡É ÀÌ»óÀÇ ¿Âµµ¿¡¼­ Á¦Á¶µÇ¸ç °áÁ¤¼º SiC¿Í Si3N4 ¼¼¶ó¹ÍÀ» ¾ò±â À§Çؼ­´Â 1200~1500 ¡É »çÀÌÀÇ ¿Âµµ¿¡¼­ ¿­ºÐÇظ¦ ¼öÇàÇØ¾ß ÇÑ´Ù. 1975³â¿¡ ÀϺ»ÀÇ Yajima´Â ´ÙÀ½ÀÇ °øÁ¤¿¡ ÀÇÇؼ­ Á÷°æ 18 §­ SiC ¼¼¶ó¹Í ¼¶À¯¸¦ ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î Á¦Á¶Çϴµ¥ ¼º°øÇÏ¿´´Ù. [±×¸² 2: SiC ¼¼¶ó¹Í ¼¶À¯ÀÇ Á¦Á¶¸¦ À§ÇÑ Yajima °øÁ¤].

 

 

¿ëÀ¶Á¡ÀÌ 97.8 ¡ÉÀÎ ³ªÆ®·ý (¼Òµã, Na) ±Ý¼ÓÀ» ºñÁ¡ÀÌ ³ôÀº ºñ±Ø¼º ¹æÇâÁ· xylene ¿ë¸Å¿¡¼­ 110 ¡É Á¤µµ·Î °¡¿­ÇÏ¿© ¿ëÀ¶ ³ªÆ®·ýÀ» Á¦Á¶ÇÑ´Ù. ÀÌ ¿ëÀ¶ ³ªÆ®·ýÀ» ȯ¿øÁ¦·Î »ç¿ëÇÏ¿© µð¸ÞÆ¿ µðŬ·Î¸£½Ç¶õ ((CH3)2SiCl2)À» Wurtz ¦Áö¿ò ¹ÝÀÀ½ÃÄÑ µð¸ÞÆ¿ ±Ô¼Ò °íºÐÀÚ (polydimethylsilane, [(CH3)2Si]x)¸¦ ÇÕ¼ºÇÑ´Ù. »ý¼ºµÈ µð¸ÞÆ¿ ±Ô¼Ò °íºÐÀÚ´Â À¯±â ¿ë¸Å¿¡ ³ì´Â ȯ»ó ÀúÁßÇÕü¿Í ³ìÁö ¾Ê´Â °áÁ¤¼ºÀÇ ¼±»ó °íÁßÇÕüÀÇ È¥ÇÕ¹°ÀÌ´Ù. ÀÌ È¥ÇÕ¹° »óÅÂÀÇ polysilane¸¦ ¾Æ¸£°ï ±âü ºÐÀ§±â¿¡¼­ 470 ¡É Á¤µµ·Î °¡¿­Çϸé, ¼ÒÀ§ Kumada ÀÚ¸®¿Å±è ¹ÝÀÀ(Kumada rearrangement)¿¡ ÀÇÇØ ÅºÈ­±Ô¼Ò °íºÐÀÚ(polycarbosilane)°¡ º¯ÇüµÈ´Ù. ÀÌ Kumada ÀÚ¸®¿Å±è ¹ÝÀÀÀº ±Ô¼Ò ¶óµðÄ®°ú ź¼Ò ¶óµðÄ®µéÀÌ ¸Å°³µÇ¾î ÀϾ´Â ¹ÝÀÀÀÌ´Ù. [±×¸² 3: Kumada ÀÚ¸®¿Å±è ¹ÝÀÀ¿¡ ÀÇÇÑ ±Ô¼Ò°íºÐÀÚÀÇ ÅºÈ­±Ô¼Ò°íºÐÀÚ·ÎÀÇ º¯Çü].

 

 

ºÐÀÚ·® 8000 Á¤µµÀÇ ÀÌ ÅºÈ­±Ô¼Ò °íºÐÀÚ´Â ¿ëÀ¶¼º°ú ¿ëÇؼºÀÌ ÀÖ°í ¼¶À¯·Î ¹æÃß °¡´ÉÇÏ´Ù. ´ÙÀ½À¸·Î ¼¼¶ó¹Í ÀÜ¿© ¼öÀ²À» Áõ°¡½ÃÅ°±â À§Çؼ­´Â, źȭ±Ô¼Ò °íºÐÀÚÀÇ ±¸Á¶»óÀ¸·Î ¹ÝÀÀ¼ºÀÌ Å« Si-H °áÇÕÀ» °íºÐÀÚ Áֻ罽¿¡ °¡Áö°í ÀÖÀ¸¹Ç·Î °ø±â Áß¿¡¼­ 350 ¡É Á¤µµ·Î °¡¿­ÇÏ¸é »ê¼ÒÀÇ ÀÛ¿ëÀ¸·Î ±Ô¼Ò °£¿¡ ´Ù¸® °áÇÕÀ» ÇÏ¿© ºÐÀÚ·®ÀÌ ±Þ°ÝÈ÷ Áõ°¡µÇ¸ç, ¸¶Áö¸·À¸·Î Áú¼Ò ºÐÀ§±â¿¡¼­ 1200 ¡É ÀÌ»óÀÇ ¿Âµµ¿¡¼­ ¿­ºÐÇØ ½ÃÅ°¸é CH4¿Í H2 ±âü¸¦ ¹æÃâÇϸ鼭 SiC ¼¼¶ó¹ÍÀÌ µÈ´Ù. ¿©±â¿¡¼­ »ý¼ºµÈ SiC´Â ÀϹÝÀûÀ¸·Î ¾à°£ °ú·®ÀÇ Åº¼Ò°¡ ÇÔ²² ¼¯¿© ÀÖ´Ù. ±×¸®°í Áß°£ ¹°ÁúÀΠźȭ±Ô¼Ò °íºÐÀÚÀÇ ±¸Á¶µµ »ç½ÇÀº ´õ º¹ÀâÇÏ´Ù°í ¾Ë·ÁÁ® ÀÖÀ¸¸ç ¶ÇÇÑ polysilaneÀÌ ÅºÈ­±Ô¼Ò °íºÐÀÚ·Î º¯È¯µÉ ¶§ÀÇ ¼öÀ²ÀÌ ³·´Ù. ÀÌ·± ´ÜÁ¡µéÀ» º¸¿ÏÇϱâ À§Çؼ­ 1992³â¿¡ Interrante´Â °ªºñ½Ñ Àü±¸Ã¼¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© ´ÙÀ½°ú °°Àº ´Ù´Ü°è °øÁ¤À» °ÅÃÄ ¼ø¼öÇÑ SiCÀ» ¾ò´Âµ¥ ¼º°øÇÏ¿´´Ù. [±×¸² 4: °í¼øµµ SiC ¼¼¶ó¹ÍÀ» ¾ò±â À§ÇÑ Interrante °øÁ¤].

 

ÀÌ °øÁ¤Àº ÀüÀÌ±Ý¼Ó Âø¹° Ã˸Ÿ¦ »ç¿ëÇÏ¿© ȯ»ó ´ÜÀ§Ã¼¸¦ °³È¯ ÁßÇÕÇÏ°í °ðÀ̾î LiAH4·Î ȯ¿ø½ÃÄѼ­ źȭ±Ô¼Ò °íºÐÀÚ¸¦ ¸¸µç ÈÄ 1200 ¡É¿¡¼­ ¿­ºÐÇØÇÏ¿© ³ôÀº ¼¼¶ó¹Í ¼öÀ²°ú ³ôÀº ¼øµµÀÇ ¥â-SiC¸¦ ÇÕ¼ºÇÏ´Â °ÍÀÌ´Ù. Interrante´Â À§¿¡ »ç¿ëÇÑ cyclosilabutane ¿Ü¿¡ ÃÖ±Ù¿¡ allylhydridosilaneÀ» Àü±¸Ã¼·Î »ç¿ëÇÏ¿© ¼ö¼ÒÈ­±Ô¼Ò÷°¡¹ÝÀÀ (hydrosilation)À» °ÅÃÄ ¿­ºÐÇØ ÇϹǷμ­ ¼ø¼öÇÑ SiC¸¦ ¾ò´Âµ¥ ¼º°øÇÏ¿´´Ù. ±×·¯³ª ÀÌ °øÁ¤µéÀº ´Ù´Ü°è¸¦ °ÅÃÄ¾ß ÇÏ°í ¶ÇÇÑ ÀÌ Àü±¸Ã¼µéÀº ÇÕ¼ºÇϱⰡ ±î´Ù·Î¿ö °ªÀÌ ¸Å¿ì ºñ½Î°í Àü·«Àû ¼öÃâ ±ÝÁö Ç°¸ñÀÎ °ÍÀÌ ´ÜÁ¡ÀÌ´Ù. ±×¸®ÇÏ¿© ¾Õ¿¡¼­µµ ¾ð±ÞÇßµíÀÌ À¯±â±Ô¼Ò °íºÐÀÚ ¼±±¸¹°ÁúÀº ´ÜÀ§Ã¼ÀÇ °ªÀÌ ½Î°í ½±°Ô ±¸ÇÒ ¼ö°¡ ÀÖ°í ºÐÀÚ ³» Si¿Í CÀÇ Á¶¼º ºñÀ²ÀÌ 1:1À̸ç ÁßÇÕ ¼öÀ²ÀÌ ³ô°í ¹ÝÀÀ¼ºÀÌ ¸Å¿ì Å« Si-H °áÇÕÀ» °¡Á®¾ß ÇÏ°í ¼ºÇüÀÌ ½¬¿ö¾ß ÇϹǷΠÀÌ·± Á¶°Ç¿¡ ºÎÇÕµÇ¸ç °ø±â Áß¿¡¼­ ¹ßÈ­¼ºÀÌ Å« polymethylsilaneÀ» Seyferth¿Í Woo´Â ÇÕ¼ºÇÏ¿´´Ù. [±×¸² 5: Wurtz ¦Áö¿ò¹ÝÀÀ¿¡ ÀÇÇÑ polymethylsilane ÀúÁßÇÕüÀÇ ÇÕ¼º].

 

¿©±â¼­ Si-H °áÇÕÀº ¼¼¶ó¹Í ÀÜ¿© ¼öÀ² ¶Ç´Â ¼¼¶ó¹ÍÀÇ ¼øµµ¸¦ ³ôÀ̱â À§Çؼ­ Å»¼ö¼Ò °¡±³¹ÝÀÀ ¶Ç´Â ¼ö¼Ò±Ô¼ÒÈ­ °¡±³¹ÝÀÀ µîÀÇ °¡±³¹ÝÀÀÀ» À§ÇØ ÇÊ¿äÇÏ´Ù. Å»¼ö¼Ò¹ÝÀÀÀº Woo-Tilley-Harrod µî¿¡ ÀÇÇØ °³¹ßµÇ¾ú´Ù. THF:hexane(1:7)ÀÇ È¥ÇÕ ¿ë¸Å¿¡¼­ ¹ÝÀÀÇÏ¿© ¾ò¾îÁø Á¡¼º ¾×ü »óÅÂÀÇ polymethylsilaneÀÇ ºÐÀÚ·®Àº ¾à 700 ´ÞÅæ Á¤µµ·Î¼­ ¾à°£ÀÇ °¡±³ ¹ÝÀÀÀÌ ÀϾ °ÍÀÌ¸ç ¼¼¶ó¹Í ÀÜ¿© ¼öÀ²ÀÌ 1000 ¡É¿¡¼­ ¾à 60% Á¤µµÀÌ´Ù. ÀÌµé ¼¼¶ó¹ÍµéÀ» ¿ø¼Ò ºÐ¼®ÇØ º¸¸é, 76w%ÀÇ SiC¿Í 24w%ÀÇ SiÀ¸·Î ±¸¼ºµÇ¾î ÀÖ´Ù. ÀÌ°ÍÀº ¿­ºÐÇØ °úÁ¤ Áß ¾à 1/4ÀÇ Åº¼Ò ¼ººÐÀÌ ÀÌ ±Ô¼Ò °íºÐÀÚ Áֻ罽¿¡¼­ ¶³¾îÁ® ³¯¾Æ°£ °ÍÀ¸·Î »ý°¢ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ±×¸®ÇÏ¿© ÀÌ 1/4ÀÇ Åº¼Ò ¼ººÐÀ» ÀÌ ¼±±¸¹°Áú °íºÐÀÚ¿¡ ºÙ¿© µÎ±â À§Çؼ­´Â À¯±â±Ý¼Ó Ã˸Ÿ¦ ÀÌ¿ëÇÑ Å»¼ö¼Ò°¡±³¹ÝÀÀ 󸮸¦ »ý°¢ÇØ º¼ ¼ö ÀÖ´Ù. [±×¸² 6: ÀüÀÌ±Ý¼Ó 4Á· Ã˸ſ¡ ÀÇÇÑ polymethylsilaneÀÇ Å»¼ö¼Ò¦Áö¿ò °¡±³Ã³¸® ÈÄ ¿­ºÐÇØ ¹ÝÀÀ °øÁ¤].

 

ÀÌ Ã³¸® °úÁ¤À» °ÅÃÄ ¾ò¾îÁø polymethylsilaneÀ» ½á¼­ ¼¼¶ó¹Í ÀÜ¿© ¼öÀ²ÀÌ 1500 ¡É¿¡¼­ 75%ÀÌ°í 98% ¼øµµÀÇ SiC¸¦ ¾òÀ» ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÌ¿Í °°Àº °¡±³µÈ polymethylsilaneÀº ´ÙÀ½°ú °°ÀÌ ±âü »óÅÂÀÇ methylsilaneÀÇ Å»¼ö¼Ò ÁßÇÕ¿¡ ÀÇÇؼ­µµ °¡´ÉÇÏ´Ù. [±×¸² 7: ÀüÀÌ±Ý¼Ó 4Á· Ã˸ſ¡ ÀÇÇÑ MeSiH3ÀÇ Å»¼ö¼ÒÁßÇÕ¹ÝÀÀ°ú ¿­ºÐÇØ ¹ÝÀÀ °øÁ¤].

 

 

±×·¯³ª ÀÌ ¹æ¹ýÀº MeSiH3°¡ ±âü¿©¼­ ´Ù·ç±â°¡ Èûµé°í, »ý¼ºµÈ À¯±â±Ô¼Ò °íºÐÀÚ°¡ Àß ³ìÁö ¾Ê´Â ´ÜÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù.

¹ÝÀÀ¼ºÀÌ Å« Si-H±â°¡ ÀÖ´Â polymethysilane°ú ºñ´Ò±â°¡ ÀÖ´Â polysilyacetylene°ú ÀûÀýÇÑ ºñÀ²(1:6)·Î È¥ÇÕÇÑ ÈÄ AIBN ¶óµðÄ® °³½ÃÁ¦¸¦ Ã˸ŷΠÇÏ¿© ¼ö¼ÒÈ­ ±Ô¼Ò ÷°¡¹ÝÀÀÀ» ½ÃÄÑ ÇÏÀ̺긮µå¸¦ Çü¼ºÇÑ ÈÄ ¿­ºÐÇØÇÏ¸é ¼ø¼öÇÑ SiC¸¦ ¾òÀ» ¼ö°¡ ÀÖ´Ù. [±×¸² 8: ¼ö¼ÒÈ­±Ô¼Ò÷°¡¹ÝÀÀ¿¡ ÀÇÇÑ °íºÐÀÚ È¥¼ºÃ¼ Á¦Á¶ ¹× ¿­ºÐÇØ ¹ÝÀÀ °øÁ¤].

 

 

PolymethylsilaneÀº ±× ÀÚü°¡ ¿­ºÐÇؽà 76wt%ÀÇ SiC¿Í 24wt%ÀÇ Si¸¦ ÁÖ°í  polysilyacetyleneÀº 50wt%ÀÇ SiC¿Í 50wt%ÀÇ C¸¦ ÁֹǷΠÀûÀýÇÑ ºñÀ²·Î ¼¯¾î °áÇÕ½ÃŲ È¥¼ºÃ¼(hydrid)¸¦ ¸¸µé¾î ¼ø¼öÇÑ SiC Á¦Á¶¸¦ À§ÇÑ ¼±±¸ ¹°Áú·Î »ç¿ë °¡´ÉÇÑ ¿¹¶ó ÇÏ°Ú´Ù. ÇÑÆí polymethylsilaneÀº ²Ï °ø±â Áß¿¡¼­ ¹ßÈ­¼ºÀÌ Å©°í ¹ÝÀÀ¼ºÀÌ Å©¹Ç·Î ±×º¸´Ù ¹ÝÀÀ¼ºÀÌ ÀÛÀº ÁּⰡ ź¼Ò·Î ÀÌ·ç¾îÁø poly(vinylsilane)µµ ¼±±¸¹°Áú·Î °¡´ÉÇÏ°Ú´Ù. Polyvinylsilane, [CH2CH(SiH3)]nÀº [CH2CH(SiX3)]n (X=Cl, OR)À» LiAlH4·Î ȯ¿ø½ÃÄÑ ¸¸µé¸ç, ÀÌ ½Ç¶õ ÀÚü¸¦ 1500 ¡É¿¡¼­ ¿­ºÐÇØÇϸé 39% ¼¼¶ó¹Í ÀÜ¿© ¼öÀ²·Î 94wt% SiC¿Í 6wt% C°¡ ¾ò¾îÁø´Ù. ÀÌ °æ¿ì 4Á· ÀüÀÌ±Ý¼Ó Ã˸Ÿ¦ ½á¼­ Å»¼ö¼Ò °¡±³ ¹ÝÀÀ 󸮸¦ Çϸé 80%·Î ¼¼¶ó¹Í ÀÜ¿© ¼öÀ²Àº Áõ°¡ÇÏÁö¸¸, ¼øµµ´Â 89% SiC·Î ¿ÀÈ÷·Á ¶³¾îÁø´Ù.

Polymethylsilane°ú poly(vinylsilane)Àº ÀÚü ¿­ºÐÇØ ½Ã °¢±â 25 wt% Si¿Í 6 wt%ÀÇ C°¡ SiC¿Í ÇÔ²² ¾ò¾îÁö¹Ç·Î ÀÌµé °íºÐÀÚµé°ú ÀüÀÌ±Ý¼Ó ºÐ¸» ¶Ç´Â ÀüÀÌ±Ý¼Ó »êÈ­¹° ºÐ¸»°ú ÀûÀýÇÑ ºñÀ²·Î ¼¯°Å³ª, À¯±â±Ý¼Ó Âø¹°µé°ú ¼¯¾î¼­ È¥¼ºÃ¼¸¦ ¸¸µç ÈÄ ¿­ºÐÇØÇÏ¸é ¹«±â¹°°ú ±Ý¼ÓÀÇ È¥ÇÕ ¼¼¶ó¹ÍÀÎ cermet (¼¼¸ä)À» Á¦Á¶ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¿¹¸¦ µé¸é, poly(vinylsilane)°ú ƼŸ´½(Ti) ±Ý¼Ó ºÐ¸»°ú ¼¯Àº ÈÄ 1500 ¡É ¾Æ¸£°ï ºÐÀ§±â¿¡¼­ ¿­ºÐÇØÇϸé TiC¿Í SiC°¡ 3:2 ºñÀ²·Î ¼¯ÀÎ ¼¼¸äÀÌ Çü¼ºµÇ¸ç, 1000 ¡É ¾Ï¸ð´Ï¾Æ ºÐÀ§±â¿¡¼­ ¿­ºÐÇØÇϸé TiN°ú SiC°¡ 4:1·Î ¼¯ÀÎ ¼¼¸äÀÌ Çü¼ºµÈ´Ù. À̵éÀº ´Ù¾çÇÑ °ø±¸ÀÇ Á¦Á¶³ª °í¿Â °í»ó Ã˸ŷΠ¾²ÀÏ ¼ö°¡ ÀÖ´Ù. ÀÌ¿Ü¿¡µµ ´Ù¾çÇÑ ÀüÀÌ±Ý¼Ó ºÐ¸»µé°ú ¿©·¯ À¯±â±Ô¼Ò °íºÐÀÚµéÀ» ´Ù¾çÇÑ ºñÀ²·Î È¥ÇÕÇÑ ÈÄ ¿­ºÐÇØÇϸé ÁÖÀ§ ±âüÀÇ Á¾·ù¿¡ µû¶ó¼­ ¿©·¯ ´Ù¸¥ ´Ù¾çÇÑ ¼¼¸äÀ» Á¦Á¶ÇÒ ¼ö°¡ ÀÖ´Ù. ÇÑÆí polysilaneÀ» źȭ±Ô¼Ò °íºÐÀÚ·Î º¯Çü½ÃÄѼ­ ¿­ºÐÇØÇϸé ÃÑ ¼¼¶ó¹Í ÀÜ¿© ¼öÀ²ÀÌ ¶³¾îÁö°í, Áß°£¹°ÁúÀΠźȭ±Ô¼Ò °íºÐÀÚÀÇ ±¸Á¶µµ Á¤È®È÷ ¾Ë ¼ö°¡ ¾øÀ¸¹Ç·Î, polysilaneº¸´Ù´Â ±¸Á¶¸¦ Á¤È®È÷ ¾Ë°í Àִ źȭ±Ô¼Ò °íºÐÀÚ¸¦ ÇÕ¼ºÇÑ ÈÄ ¿­ºÐÇØÇÏ¿© ¼¼¶ó¹Í ÀÜ¿© ¼öÀ²µµ ¿Ã¸®°í ¼ø¼öÇÑ SiCÀ» Á¦Á¶ÇÏ·Á´Â ½Ãµµ°¡ ÀÖ´Ù. ¿¹¸¦ µé¸é, MeSiH2CH2CH2SiH3À» (C5H5)2TiMe2Ã˸ŷΠ»ó¿Â¿¡¼­ ÁßÇÕ½ÃÅ°¸é, ÀÔü ÀåÇØ°¡ ÀûÀº ÀÏÂ÷ ½Ç¶õ±âÀÎ ¸»´ÜÀÇ SiH3±â°¡ ¸ÕÀú ¼ö¼Ò¸¦ ¹æÃâÇϸ鼭 ¿ë¸Å¿¡ ³ì´Â ºÐÀÚ·® 1000 ´ÞÅæ Á¤µµÀÇ Àú ÁßÇÕü¸¦ Çü¼ºÇϸç, ½Ã°£ÀÌ °¥¼ö·Ï ±×¸®°í ¿Âµµ¸¦ ¿Ã¸±¼ö·Ï ÀÌÂ÷ ½Ç¶õ±âÀÎ MeSiH2±â°¡ ÁßÇÕÀÌ ¶ÇÇÑ ÁøÇàµÇ¾î °¡±³ ¹ÝÀÀÀÌ ÀϾ°Ô µÈ´Ù. ÀÌ ÃÖÁ¾ ÁßÇÕ¹°À» 1200 ¡É¿¡¼­ ¿­ºÐÇØÇϸé 73%ÀÇ ¼¼¶ó¹Í ÀÜ¿© ¼öÀ²·Î °ÅÀÇ 99% ¼øµµÀÇ SiC°¡ »ý¼ºµÈ´Ù.

´ÙÀ½À¸·Î Si3N4 ¼¼¶ó¹ÍÀÇ Á¦Á¶¿¡ °üÇؼ­ °£´ÜÈ÷ ±â¼úÇÏ°Ú´Ù. Si3N4´Â polymethylsilaneÀ» ¾Ï¸ð´Ï¾Æ ºÐÀ§±â¿¡¼­ ¿­ºÐÇØÇؼ­ Á¦Á¶ÇÒ ¼öµµ ÀÖ°í, polymethylsilazane ¼±±¸¹°ÁúÀ» Á¦Á¶ÇÑ ¼ö ¿­ºÐÇØÇؼ­ Á¦Á¶ÇÒ ¼öµµ ÀÖ´Ù. [±×¸² 9: ÁúÈ­±Ô¼Ò ¼¼¶ó¹Í ¹× º¹ÇÕ¹°ÀÇ Á¦Á¶°øÁ¤].

 

 

PolymethylsilazaneÀº MeSiHCl2¿Í NH3À» ether ¿ë¸Å¿¡¼­ ¹ÝÀÀ½ÃÄÑ ÇÕ¼ºÇϴµ¥ »ý¼ºµÈ polymethylsilazaneÀÇ ¼¼¶ó¹Í ÀÜ¿© ¼öÀ²À» ³ôÀ̱â À§Çؼ­ KH ¶Ç´Â (C5H5)2TiR2 µîÀ¸·Î °¡±³½ÃŲ´Ù. ÀÌ·± 󸮸¦ ÇÑ ÈÄ ¿­ºÐÇØÇϸé Si3N4°¡ »ý¼ºµÇ¸ç ¶Ç´Â ±Ý¼Ó ºÐ¸»°ú ¼¯¾î¼­ ¿­ºÐÇØÇϸé Si3N4¿ÍÀüÀÌ±Ý¼Ó ÁúÈ­¹°ÀÌ È¥ÇÕµÈ ¼¼¸äÀÌ »ý¼ºµÈ´Ù.

4. °á·Ð

½Å¼ÒÀç(°íºÐÀÚ, ±Ý¼Ó, ¼¼¶ó¹Í)´Â ±âÁ¸ÀÇ Àç·á¿Í´Â ´Ù¸¥ ¿ì¼öÇÑ Æ¯¼º°ú »õ·Î¿î ±â´ÉÀÌ ÀÖ¾î ¿ì¸® Àηù º¹Áö¿¡ ¸Å¿ì Áß¿äÇÏ¸ç ¿ì¸®´Â ¹«ÇÑ´ë »ýÁ¸ °æÀï¿¡ ¸ô¸®°í ÀÖ´Ù. ÀÌ Áß ¹«±â°íºÐÀÚ´Â À¯±â°íºÐÀÚÀÇ ´ÜÁ¡À» º¸¿ÏÇÏ´Â µ¿½Ã¿¡ »õ·Î¿î ±â´É¼ºÀ» °¡Áö¹Ç·Î »ê¾÷¹ßÀü¿¡ ¸Å¿ì Áß¿äÇÏ´Ù. ´Ù¾çÇÑ ¹«±â°íºÐÀÚÀÇ ÀÀ¿ëºÐ¾ß Áß ¼¼¶ó¹Í Àü±¸Ã¼·ÎÀÇ »ç¿ëÀº ÷´Ü »ê¾÷ ºÐ¾ß¿¡ ¸·´ëÇÑ ¹ßÀüÀ» ÃÊ·¡ÇÏ¿´´Ù. ƯÈ÷ ±Ô¼Ò¸¦ ÇÔÀ¯ÇÏ´Â ºñ»êÈ­¼º ¼¼¶ó¹ÍÀΠźȭ±Ô¼Ò (SiC) ¹× ÁúÈ­±Ô¼Ò (Si3N4) ¼¼¶ó¹ÍÀº ±× »ê¾÷Àû ¿ëµµ°¡ ´Ù¾çÇÏ´Ù. ±Ô¼Ò °íºÐÀÚ´Â ¿ø·á ¹°ÁúÀÌ °ª½Î°í ÁßÇÕ ¼öÀ²ÀÌ ³ô¾Æ¼­ °æÁ¦ÀûÀÌ°í, ºÐÀÚ ³» Si¿Í C ¶Ç´Â NÀÇ ºñÀ²À» ÀÚÀ¯ÀÚÁ¦·Î Á¶Á¤ÇÒ ¼ö°¡ ÀÖ°í, ¿ëÀ¶¼º ¶Ç´Â ¿ëÇؼºÀÌ ÀÖÀ¸¹Ç·Î ¼ºÇü°¡°øÀÌ °¡´ÉÇϸç, ¼¼¶ó¹Í ÀÜ¿© ¼öÀ²À»Áõ´ë½ÃÅ°±â À§Çؼ­ ¿©·¯ È­ÇйÝÀÀ¿¡ ÀÇÇØ °¡±³µµ ½Ãų ¼ö°¡ ÀÖ´Ù. ¿­ºÐÇØ Á¶°Ç¿¡ µû¶ó¼­ SiC¿Í Si3N4 µî ¼±ÅÃÀÇ Á¶ÀýÀÌ ½¬¿ì¸ç, ±Ý¼Ó°ú ¼¯¾î¼­ ¿­ºÐÇØ ÇÔÀ¸·Î¼­ ¼¼¸äµµ Á¦Á¶ÇÒ ¼ö°¡ ÀÖ´Ù. ÀÌ·± Á¾·ùÀÇ ¿¬±¸´Â ½Å¼ÒÀçÀÇ ÃѾÆÀÎ ±Ý¼Ó, °íºÐÀÚ, ¼¼¶ó¹Í ¿¬±¸µéÀÌ ÇÔ²² ¾î¿ì·¯Áø Á¾ÇÕ ÀÛÇ°À̶ó ÇÒ ¼ö ÀÖ°Ú´Ù. ¿©·¯ À¯ÇüÀÇ À¯±â±Ô¼Ò °íºÐÀÚµéÀ» ´Ù¾çÇÏ°Ô ÇÕ¼ºÇؼ­ ±× ¿­ºÐÇØ °úÁ¤À» Á» ´õ ¸é¹ÐÈ÷ ¿¬±¸ÇÑ´Ù¸é »ê¾÷Àû ÀÀ¿ë °¡´É¼ºÀº ¸Å¿ì Å©¸®¶ó ±â´ëµÈ´Ù.

 

¿ìÈñ±Ç

 

ÁÖ)  ¿ù°£¼¼¶ó¹Í½º 2008³â 7¿ùÈ£¿¡ ½Ç¸° ³»¿ëÀÓ

                                                  

Çѱ¹½Ç¸®ÄÜÇÐȸ ½Ç¸®Äܼ¼°è´Â Çѱ¹½Ç¸®ÄÜÇÐȸ ȸ¿øµé°ú ¶Ç °ü·ÃµÇ´Â ºÐµé¿¡°Ô ¹è´ÞµË´Ï´Ù

°è¼ÓÇؼ­ ¹ÞÀ¸½Ã±â¸¦ ¿øÇϽôÂÁö ¶Ç´Â °ÅÀýÇϽôÂÁö ¿¹, ¾Æ´Ï¿À·Î ¾Ë·ÁÁֽʽÿÀ:  ¿¹ : ¾Æ´Ï¿À

 

ÁÖ¼Ò: Çѱ¹½Ç¸®ÄÜÇÐȸ, °­¿øµµ ¿øÁֽà Èï¾÷¸é ¿¬¼¼´ë±æ, ¿¬¼¼´ëÇб³ âÁ¶°ü, ¿ìÆí¹øÈ£; 220-710 ÀüÈ­: 033-760-5230

 

This KSiS Silicon World was sent to KSiS members and News subscribers. If you would like to receive continuously, click YES, if not click NO: YES ; NO

 

Address: The Korean Silicon Society, Changjo-Kwan, Yonsei University, Yonseidae-Gil, Heungup-myun, Wonju City, Gangwon-do 220-710 , KOREA

 

Copyright © Çѱ¹½Ç¸®ÄÜÇÐȸ (The Korean  Silicon Society). All Rights Reserved.