�ѱ��Ǹ�����ȸ �Ǹ��ܼ���
KSiS SILICON WORLD (Vol. 1, No.1)

July, 2012

 

 

���������ȭ���� ����

 

����� �������б� ȭ�а� ����

 

 

1. ����������� ź�� ���� �ż���μ��� �߿伺

�ż���� ������ ���ʹ� �ٸ� �پ Ư���� ���ο� ����� ���� �ִ� ������ ��������, �η������� �̷� �ż����� ź���� �Բ� ������ �ŵ��Ͽ� �Դ�. �ٴ뿡 ��� ���ΰ� dz���ѿ����κ��� ���� �������� ������ �ö�ƽ, ����, ���� ���� ��������ȭ���� �ߴ޷� �η��� dz��ο� ��Ȱ�� �����Ͽ��Դ�. �׷��� ź�Ҹ� �ּ������� �ϴ� ���������� ���� ���差�� �ް��� ���� ���������� �ް��� ��°� ���ȯ��������� ���� ����ȯ���� �ɰ��� �̻� ��ȭ�� ���� ������ ��ġ��Ȳ�� �䵿ġ�� �ִ�. �׸��Ͽ� ź�� �̿��� ���ҷ� ������ û�� ���������� �ż����� ������ �߿������ ��εǰ� �ִ�. ���� �츮���� ������ ���� �������� ���� ���� ÷�� ��� �о߿��� ���ΰ� ��ɼ� �ż��� ���� ������ ġ���ϰ� ���̰� ������, �̰��� �� �� ���� ������ ����ȴ�. [�׸� 1: ÷�� �ż��� ����� ������ �ֽ� ���: ���� ��ũ, ���� �ڱ�λ���, �̱� ���ֿպ���, ������ �������].

 

�ż���� ũ�� ������, �ݼ�, ��������� ���� �� �ִ�. �� �߿��� �ݼ��� �ֱ� ���ο� �ձݿ� ���� ������ Ȱ���ϰ� �̷������ �ְ� ����, ����, ������ ���� �پ�� ���¿��� �� �ߵ����� �Ϲ������� ���̰�, �νĵDZ� ����� �������� ����, ���ñ��� ���� ��°� �������� �ʿ��� ������ ���Ѵ�. ������� ��, ��ȭ�� �� �ߵ�� ������ ���쳪 ���̰� ��ݿ� �μ����� ����. �����ڴ� ũ�� ���� �����ڿ� ���� �����ڷ� ���� ���� �ְ�, ����� ��ɼ��� ���� ��������ڿ� ���� ������ Ȱ���ϰ� �̷������ �ִ�. �Ϲ������� ��������ڴ� ���θ� ������, �� ��ȭ �νĵ��� ������, ���� �µ������� ���� �����ϰ�, ����� ���� ����ü�� �ۿ������� Ư���� ��� �������� �����⵵ �Ѵ�. �̷��� ����������� �������� �ұ��ϰ� �� ���� ġ���� ������ ���� �ִ�: (1) ���� �µ����� ���� �浵(hardness)�� ��ȭ��(brittleness) ������ (2) ��ð� ���� ������ ��ų� ���� ���ذ� �Ͼ�� ��ü�� �طο� ������ ���� (3) ��ð� �ڿܼ� ����� ���� Ȥ�� ������ �Ͼ (4) ��������ڿ��� ���� ��������ڿ� ���ѵ� Ư�� ��ɼ� (�ݼӼ�). �̷��� ��������ڰ� ������ ������ �غ��ϱ� ���� ��������ڿ� ����-���� ȥ�������ڰ� ���ߵǾ���. �����ڴ� ���� ���κ��� õ�������� (��: �ܹ���, �ٻ�, �츻, ����ν�, Űƾ ��)�� ���������� (��: ���������׸�, ���Ϸ�, �������, �����췹ź, ����ī������Ʈ, PET, PVC ��)�� ������, �뵵���� ������ �����ڿ� ��ɼ� ������ (��: ����߱�, ���߱�, ��������, ����, �����ؼ�, ��ǰ����, �и���, ������, �ҿ���, ������ ��)�� ���� �� �ְ�, ���к��� ���������, ����- �� ȥ��������, ��������ڷ� �뺰�ȴ�.

 

2. ����������� ����

��������ڴ� ������Ҹ� ������ �ֻ罽 �Ǵ� ��罽�� �����ϴ� �����ڸ� ���´´�. ���⼭ ���� ���Ҵ� ���Դ� ���� �ݼ� (s�� p �˵��� ä��� �˷�̴�, ���׳׽��� ���� �����ݼ�, d �˵��� ä��� ƼŸ��, �����ڴ�, �ֽ��ٰ� ���� ���̱ݼ�, f �˵��� ä��� ��ź��-��Ƽ������ ���� �������̱ݼ�)���� �ǹ������� �аԴ� ��ݼӰ� ��������� Si, Ge, P, B, S, O, N ���� ���ҵ�� ����� �̷� �͵� �����Ѵ�. ��������ڴ� ������ �� ���� �������� ũ�� ������. ù°, ���� ������ ����������� ��罽�� ���Ե� ���μ� ����������� ���� ������ ���� ������ ä ��罽�� ���Ե� ���⼺���� ���� ���� ��Ÿ����. ��°, ���� ���Ҹ� ������ �ֻ罽�� ��ݿ� ź�ҿ� �Բ� �����ϰų� �ܵ����� ���Ե� ���. ��°, ����� ������ ���� ����ü ������ �ϵ��� ����� ����-���� ȥ���������� ���. ��°, �����ϰ� ���⼺�и����� ������ ������ �Ǵ� ���ڱ����� ������ �̿�ȭ�չ��� ��찡 �ִ�. ���� ������ ����������� ��罽�� ���Ե� ����������� �ռ����� �ַ� ���⼺���� ġȯ��� �ϴ� ��Ҵ���ü (vinyl monomers; CH2=CH-X ����)�� �ַ� ���ȴ�. ���⼭ ���⼺�� ġȯ��μ� Si(CH3)3, Si(OCH2CH3)3, SiCl3, SiH3, OSi(CH3)3, Ge(CH3)3, Sn(CH3)3, O=P(C6H5)2, phosphazene (N=P)3, borazine (BH=NH)3, metallocene (��: ferrocene), pyridine-�ݼ� ���� �ִ�. �̵� ��� ����ü���� ���� ���� ���� ���(��: ���Į ����, �̿�����, ��������)�� ����Ͽ� ���ս��� �����ڸ� ��´�. �ֻ罽�� �ݼӰ� ���⼺���� ���� �����ڷμ� ���۷�-��Ÿ �÷��� ���ս� ���˸ŷ� ���Ǵ� methylaluminoxane (-(Me)AlO-) �ܿ� �ݼ� ���� (��: ��Ż�����Ǹ�)�� 2�� �����⸦ ���� ������ (��: dipyridine)�� ������ ���� ������ ���� �ִ�. �ֻ罽�� ��ݼӰ� ���⼺���� ���� �����ڷμ� ������������ (polyphosphazene; -R2P=N- ������ �ֻ罽�� ����), ���������� (polyborazine; -BH=NH- ������ �ֻ罽�� ����), �����Ƿϼ��� (polysiloxane; -R2Si-O- ������ �ֻ罽�� ����), �����Ƿ��� (polysilane; -R2Si- ������ �ֻ罽�� ����), �����Ƕ����� (polysilazane; -R2Si-NH- ������ �ֻ罽�� ����) ���� �ִ�. ����� ������ ���� ����ü ������ �ϵ��� ����� ����-���� ȥ���������� ���μ� �� ��° ��쿡�� ����� �ֻ罽�� ��ݼӰ� ���⼺���� ���� ������ ���� ���ΰ� �̿� �ش�ȴ�. �����ϰ� ���⼺�и����� ������ �̿¼�/��ȭ ������ȭ�չ��� ���μ� �Ǹ�ī (SiO2), �˷�̳� (Al2O3), ���ö���Ʈ (Mx/n[(AlO2)x.(SiO2)y].H2O), �ұ� (NaCl), Zinc blende/Wurtzite (ZnS), Perovskite (CaTiO3), ���� (CaF2), ƼŸ�Ͼ� (TiO2), �����ڴϾ� (ZrO2) �� ���� ������ �̿� �ش�ȴ�. �̵� ���� ��������ڵ��� �˸�, ��ü, ������, ������, ����, ������ �� �̷� ��Ƹ� �� ���� ���� �о߿� ����ȴ�.

 

3. ����� ������ ���� ���������μ� ����������� ���

����������� ���� ����о� �߿� ����� ����ü���� ����� �ε巯����. ������� �뵵�� �Ϲ� �Ҹ�ǰ�������� ÷�� ������ �� ����о߰� �پ��ϴ�. ������� ũ�� ��ȭ�� ����Ͱ� ���ȭ�� ��������� �з��ȴ�. �Լ�(Silicon, Si)�� ������ �ֿ� ���� �������μ� ��� �������� ���� �����Ѵ�. �� �ԼҴ� �ڿ� ���¿��� ���� �ݼӰ� ��ҿ� �Բ� �����Ͽ� �پ��� �Ի꿰(silicate, xM(I)2O.ySiO2)�� �����ϱ⵵ �ϰ�, ���� ���� ������ �缺 ���ҵ�� ���� �����Ͽ� �̼��� ȭ�չ��� �Լ�ȭ�չ�(silicides)�� ����⵵ �Ѵ�. ��� �Ի꿰�� -Si-O�� ���� �������� ���� �ʰ�, Si=O�� ���� ���� �������� �־������ ����, �����ڱ�, �߷�, ��� �� ����ü�� ���� ������ �� ������ ���̴�. ���������� �Լҿ� ��ݼӰ��� �̼��� ȭ�չ� ����� �߿��� Ư�� ���ȭ�� ������� źȭ�Լ�(SiC)�� ��ȭ�Լ�(Si3N4) ����͵��� ���� �� �̵� ����Ͱ� �ݼӰ��� ����(cermet) ������ �����Ͽ� ����ϱ�� �ϰڴ�. �� ������ źȭ�Լҿ� ��ȭ�Լ� ����͵��� ���¿��� ��������, �׸��� ȭ�������� �����ϰ�, ���� ������ ���Ƿ� �� �뵵�� �پ��ϱ� �����̴�. �׸��Ͽ� �̵� ����͵��� ����, �װ�, ����, �ڵ���, �̻��� �� ��� ����ü��, ����, ����, ��ö���, ���ڷλ��, ����-����� ���, ������ ��ǰ�� ������ �θ� ���̰� �ִ�. ���������� SiC�� �Ի�� ��ũ���� �ұ�, ���� �Բ� ����ο��� ���� ������ ������ �����ϸ�, Si3N4�� �Լҿ��Ҹ� ���� ��ȭ��Ű�ų� SiCl4�� NH3�� ��� �Ǵ� �׻󿡼� �������� ��´�. �� ������� ���� ������ SiC�� Si3N4�� ������ �� ��κ��� �뵵�μ��� ����ϱ⿡ �������� ������, Ư���� �뵵�� ���� �̵� ������� �ʸ��̳� ���� ���·� �����ϱ����ؼ��� �����ϱ� ������ ���ؼ� �Ǵ� �������� ���� �߰� ������ ���ļ� ���� ó���Ͽ� �����Ͽ��� �Ѵ�. �׷��Ƿ� SiC�� Si3N4 ������� ������ ���� ���������μ� �ֱٿ� ���� ���̰� �ִ� ����Լ� �����ڵ��� ���� �� �����ؿ� ���ؼ� ���� ����ϱ�� �ϰڴ�.

�켱 ����Լ� �����ڰ� ������ ���������� �DZ� ���ؼ��� �׵��� ������ ���� ���� ����ü�� ���ΰ� ���� ���� ���� �־�� �ϸ�, ���� �� Si�� C�� ���� ������ 1:1�� ������� �ϰ� ���չ����� ������ ���ƾ� �Ѵ�. ���� ����Լ� �����ڴ� �����ϱ� �����ϵ��� ���ؼ� EH�� �������� Ŀ�� �ϸ�, �������� ������ ���¿��� ��������� ���� �� ����� �ܿ� ������ ���ƾ� �Ѵ�. ���� ����Լ� ������ �ȿ� Si�� C�� ���� ������ 1:1�� �ƴϰ� Si�� �� ���� ���� Si�� �������� 1410���̱� ������ ���¿��� ����� ������ �Ҹ��ϴ�. ���� C�� �� ���� ���� ���� �߿��� ������ �� �� COx��ü��� ����ǹǷ� ����� ��ü�� �տ��� ���� ������ ���� ���°� �������� �ʴ� ���� ������ �ִ�. ���� ����Լ� ������ �� Si�� C�� ���� ������ 1:1�̶� ������ ���� ��� ������ ���� �� Si�� C�� ��� �� �κ��� �� ���� ���ŵǾ�, ��� �� ���� �������� ����� �� �ܷ��ϰ� �� �� �ִ�. SiC�� Si3N4 ������� �Ϲ������� 1000 �� �̻��� �µ����� �����Ǹ� ������ SiC�� Si3N4 ������� ��� ���ؼ��� 1200~1500 �� ������ �µ����� �����ظ� �����ؾ� �Ѵ�. 1975�⿡ �Ϻ��� Yajima�� ������ ������ ���ؼ� ���� 18 �� SiC ����� ������ ���� ���ʷ� �����ϴµ� �����Ͽ���. [�׸� 2: SiC ����� ������ ������ ���� Yajima ����].

 

 

�������� 97.8 ���� ��Ʈ�� (�ҵ�, Na) �ݼ��� ������ ���� ��ؼ� ������ xylene ��ſ��� 110 �� ������ �����Ͽ� ���� ��Ʈ���� �����Ѵ�. �� ���� ��Ʈ���� ȯ������ ����Ͽ� ���ƿ ��Ŭ�θ��Ƕ� ((CH3)2SiCl2)�� Wurtz ¦���� �������� ���ƿ �Լ� ������ (polydimethylsilane, [(CH3)2Si]x)�� �ռ��Ѵ�. ������ ���ƿ �Լ� �����ڴ� ���� ��ſ� ��� ȯ�� ������ü�� ���� �ʴ� �������� ���� ������ü�� ȥ�չ��̴�. �� ȥ�չ� ������ polysilane�� �Ƹ��� ��ü �����⿡�� 470 �� ������ �����ϸ�, ���� Kumada �ڸ��ű� ����(Kumada rearrangement)�� ���� źȭ�Լ� ������(polycarbosilane)�� �����ȴ�. �� Kumada �ڸ��ű� ������ �Լ� ���Į�� ź�� ���Į���� �Ű��Ǿ� �Ͼ�� �����̴�. [�׸� 3: Kumada �ڸ��ű� ������ ���� �ԼҰ������� źȭ�ԼҰ����ڷ��� ����].

 

 

���ڷ� 8000 ������ �� źȭ�Լ� �����ڴ� �������� ���ؼ��� �ְ� ������ ���� �����ϴ�. �������� ����� �ܿ� ������ ������Ű�� ���ؼ���, źȭ�Լ� �������� ���������� �������� ū Si-H ������ ������ �ֻ罽�� ������ �����Ƿ� ���� �߿��� 350 �� ������ �����ϸ� ����� �ۿ����� �Լ� ���� �ٸ� ������ �Ͽ� ���ڷ��� �ް��� �����Ǹ�, ���������� ���� �����⿡�� 1200 �� �̻��� �µ����� ������ ��Ű�� CH4�� H2 ��ü�� �����ϸ鼭 SiC ������� �ȴ�. ���⿡�� ������ SiC�� �Ϲ������� �ణ ������ ź�Ұ� �Բ� ���� �ִ�. �׸��� �߰� ������ źȭ�Լ� �������� ������ ����� �� �����ϴٰ� �˷��� ������ ���� polysilane�� źȭ�Լ� �����ڷ� ��ȯ�� ���� ������ ����. �̷� �������� �����ϱ� ���ؼ� 1992�⿡ Interrante�� ����� ����ü�� ����Ͽ� ������ ���� �ٴܰ� ������ ���� ������ SiC�� ��µ� �����Ͽ���. [�׸� 4: ������ SiC ������� ��� ���� Interrante ����].

 

�� ������ ���̱ݼ� ���� �˸Ÿ� ����Ͽ� ȯ�� ����ü�� ��ȯ �����ϰ� ���̾� LiAH4�� ȯ�����Ѽ� źȭ�Լ� �����ڸ� ���� �� 1200 �ɿ��� �������Ͽ� ���� ����� ������ ���� ������ ��-SiC�� �ռ��ϴ� ���̴�. Interrante�� ���� ����� cyclosilabutane �ܿ� �ֱٿ� allylhydridosilane�� ����ü�� ����Ͽ� ����ȭ�Լ�÷������ (hydrosilation)�� ���� ������ �ϹǷμ� ������ SiC�� ��µ� �����Ͽ���. �׷��� �� �������� �ٴܰ踦 ���ľ� �ϰ� ���� �� ����ü���� �ռ��ϱⰡ ��ٷο� ���� �ſ� ��ΰ� ������ ���� ���� ǰ���� ���� �����̴�. �׸��Ͽ� �տ����� ����ߵ��� ����Լ� ������ ���������� ����ü�� ���� �ΰ� ���� ���� ���� �ְ� ���� �� Si�� C�� ���� ������ 1:1�̸� ���� ������ ���� �������� �ſ� ū Si-H ������ ������ �ϰ� ������ ������ �ϹǷ� �̷� ���ǿ� ���յǸ� ���� �߿��� ��ȭ���� ū polymethylsilane�� Seyferth�� Woo�� �ռ��Ͽ���. [�׸� 5: Wurtz ¦��������� ���� polymethylsilane ������ü�� �ռ�].

 

���⼭ Si-H ������ ����� �ܿ� ���� �Ǵ� ������� ������ ���̱� ���ؼ� Ż���� �������� �Ǵ� ���ұԼ�ȭ �������� ���� ���������� ���� �ʿ��ϴ�. Ż���ҹ����� Woo-Tilley-Harrod � ���� ���ߵǾ���. THF:hexane(1:7)�� ȥ�� ��ſ��� �����Ͽ� ����� ���� ��ü ������ polymethylsilane�� ���ڷ��� �� 700 ���� �����μ� �ణ�� ���� ������ �Ͼ ���̸� ����� �ܿ� ������ 1000 �ɿ��� �� 60% �����̴�. �̵� ����͵��� ���� �м��� ����, 76w%�� SiC�� 24w%�� Si���� �����Ǿ� �ִ�. �̰��� ������ ���� �� �� 1/4�� ź�� ������ �� �Լ� ������ �ֻ罽���� ������ ���ư� ������ ������ �� �ִ�. �׸��Ͽ� �� 1/4�� ź�� ������ �� �������� �����ڿ� �ٿ� �α� ���ؼ��� ����ݼ� �˸Ÿ� �̿��� Ż���Ұ������� ó���� ������ �� �� �ִ�. [�׸� 6: ���̱ݼ� 4�� �˸ſ� ���� polymethylsilane�� Ż����¦���� ����ó�� �� ������ ���� ����].

 

�� ó�� ������ ���� ����� polymethylsilane�� �Ἥ ����� �ܿ� ������ 1500 �ɿ��� 75%�̰� 98% ������ SiC�� ���� �� �ִ�. �̿� ���� ������ polymethylsilane�� ������ ���� ��ü ������ methylsilane�� Ż���� ���տ� ���ؼ��� �����ϴ�. [�׸� 7: ���̱ݼ� 4�� �˸ſ� ���� MeSiH3�� Ż�������չ����� ������ ���� ����].

 

 

�׷��� �� ����� MeSiH3�� ��ü���� �ٷ�Ⱑ �����, ������ ����Լ� �����ڰ� �� ���� �ʴ� ������ �ִ�.

�������� ū Si-H�Ⱑ �ִ� polymethysilane�� ��ұⰡ �ִ� polysilyacetylene�� ������ ����(1:6)�� ȥ���� �� AIBN ���Į �������� �˸ŷ� �Ͽ� ����ȭ �Լ� ÷�������� ���� ���̺긮�带 ������ �� �������ϸ� ������ SiC�� ���� ���� �ִ�. [�׸� 8: ����ȭ�Լ�÷�������� ���� ������ ȥ��ü ���� �� ������ ���� ����].

 

 

Polymethylsilane�� �� ��ü�� �����ؽ� 76wt%�� SiC�� 24wt%�� Si�� �ְ�  polysilyacetylene�� 50wt%�� SiC�� 50wt%�� C�� �ֹǷ� ������ ������ ���� ���ս�Ų ȥ��ü(hydrid)�� ����� ������ SiC ������ ���� ���� ������ ��� ������ ���� �ϰڴ�. ���� polymethylsilane�� �� ���� �߿��� ��ȭ���� ũ�� �������� ũ�Ƿ� �׺��� �������� ���� �ּⰡ ź�ҷ� �̷���� poly(vinylsilane)�� ���������� �����ϰڴ�. Polyvinylsilane, [CH2CH(SiH3)]n�� [CH2CH(SiX3)]n (X=Cl, OR)�� LiAlH4�� ȯ������ �����, �� �Ƕ� ��ü�� 1500 �ɿ��� �������ϸ� 39% ����� �ܿ� ������ 94wt% SiC�� 6wt% C�� �������. �� ��� 4�� ���̱ݼ� �˸Ÿ� �Ἥ Ż���� ���� ���� ó���� �ϸ� 80%�� ����� �ܿ� ������ ����������, ������ 89% SiC�� ������ ��������.

Polymethylsilane�� poly(vinylsilane)�� ��ü ������ �� ���� 25 wt% Si�� 6 wt%�� C�� SiC�� �Բ� ������Ƿ� �̵� �����ڵ�� ���̱ݼ� �и� �Ǵ� ���̱ݼ� ��ȭ�� �и��� ������ ������ ���ų�, ����ݼ� ������� ��� ȥ��ü�� ���� �� �������ϸ� ���⹰�� �ݼ��� ȥ�� ������� cermet (����)�� ������ �� �ִ�. ���� ���, poly(vinylsilane)�� ƼŸ��(Ti) �ݼ� �и��� ���� �� 1500 �� �Ƹ��� �����⿡�� �������ϸ� TiC�� SiC�� 3:2 ������ ���� ������ �����Ǹ�, 1000 �� �ϸ�Ͼ� �����⿡�� �������ϸ� TiN�� SiC�� 4:1�� ���� ������ �����ȴ�. �̵��� �پ��� ������ ������ ���� ���� �˸ŷ� ���� ���� �ִ�. �̿ܿ��� �پ��� ���̱ݼ� �и���� ���� ����Լ� �����ڵ��� �پ��� ������ ȥ���� �� �������ϸ� ���� ��ü�� ������ ���� ���� �ٸ� �پ��� ������ ������ ���� �ִ�. ���� polysilane�� źȭ�Լ� �����ڷ� �������Ѽ� �������ϸ� �� ����� �ܿ� ������ ��������, �߰������� źȭ�Լ� �������� ������ ��Ȯ�� �� ���� �����Ƿ�, polysilane���ٴ� ������ ��Ȯ�� �˰� �ִ� źȭ�Լ� �����ڸ� �ռ��� �� �������Ͽ� ����� �ܿ� ������ �ø��� ������ SiC�� �����Ϸ��� �õ��� �ִ�. ���� ���, MeSiH2CH2CH2SiH3�� (C5H5)2TiMe2�˸ŷ� ��¿��� ���ս�Ű��, ��ü ���ذ� ���� ���� �Ƕ����� ������ SiH3�Ⱑ ���� ���Ҹ� �����ϸ鼭 ��ſ� ��� ���ڷ� 1000 ���� ������ �� ����ü�� �����ϸ�, �ð��� ������ �׸��� �µ��� �ø����� ���� �Ƕ����� MeSiH2�Ⱑ ������ ���� ����Ǿ� ���� ������ �Ͼ�� �ȴ�. �� ���� ���չ��� 1200 �ɿ��� �������ϸ� 73%�� ����� �ܿ� ������ ���� 99% ������ SiC�� �����ȴ�.

�������� Si3N4 ������� ������ ���ؼ� ������ ����ϰڴ�. Si3N4�� polymethylsilane�� �ϸ�Ͼ� �����⿡�� �������ؼ� ������ ���� �ְ�, polymethylsilazane ���������� ������ �� �������ؼ� ������ ���� �ִ�. [�׸� 9: ��ȭ�Լ� ����� �� ���չ��� ��������].

 

 

Polymethylsilazane�� MeSiHCl2�� NH3�� ether ��ſ��� �������� �ռ��ϴµ� ������ polymethylsilazane�� ����� �ܿ� ������ ���̱� ���ؼ� KH �Ǵ� (C5H5)2TiR2 ������ ������Ų��. �̷� ó���� �� �� �������ϸ� Si3N4�� �����Ǹ� �Ǵ� �ݼ� �и��� ��� �������ϸ� Si3N4�����̱ݼ� ��ȭ���� ȥ�յ� ������ �����ȴ�.

4. ���

�ż���(������, �ݼ�, �����)�� ������ ���ʹ� �ٸ� ����� Ư���� ���ο� ����� �־� �츮 �η� ������ �ſ� �߿��ϸ� �츮�� ���Ѵ� ���� ���£ ������ �ִ�. �� �� ��������ڴ� ����������� ������ �����ϴ� ���ÿ� ���ο� ��ɼ��� �����Ƿ� ��������� �ſ� �߿��ϴ�. �پ��� ����������� ����о� �� ����� ����ü���� ����� ÷�� ��� �о߿� ������ ������ �ʷ��Ͽ���. Ư�� �ԼҸ� �����ϴ� ���ȭ�� ������� źȭ�Լ� (SiC) �� ��ȭ�Լ� (Si3N4) ������� �� ����� �뵵�� �پ��ϴ�. �Լ� �����ڴ� ���� ������ ���ΰ� ���� ������ ���Ƽ� �������̰�, ���� �� Si�� C �Ǵ� N�� ������ ���������� ������ ���� �ְ�, ������ �Ǵ� ���ؼ��� �����Ƿ� ���������� �����ϸ�, ����� �ܿ� �����������Ű�� ���ؼ� ���� ȭ�й����� ���� ������ ��ų ���� �ִ�. ������ ���ǿ� ���� SiC�� Si3N4 �� ������ ������ �����, �ݼӰ� ��� ������ �����μ� ���䵵 ������ ���� �ִ�. �̷� ������ ������ �ż����� �Ѿ��� �ݼ�, ������, ����� �������� �Բ� ��췯�� ���� ��ǰ�̶� �� �� �ְڴ�. ���� ������ ����Լ� �����ڵ��� �پ��ϰ� �ռ��ؼ� �� ������ ������ �� �� ����� �����Ѵٸ� ����� ���� ���ɼ��� �ſ� ũ���� ���ȴ�.

 

�����

 

��)  ��������ͽ� 2008�� 7��ȣ�� �Ǹ� ������

                                                  

�ѱ��Ǹ�����ȸ �Ǹ��ܼ���� �ѱ��Ǹ�����ȸ ȸ����� �� ���õǴ� �е鿡�� ��޵˴ϴ�

����ؼ� �����ñ⸦ ���Ͻô��� �Ǵ� �����Ͻô��� ��, �ƴϿ��� �˷��ֽʽÿ�:  �� : �ƴϿ�

 

�ּ�: �ѱ��Ǹ�����ȸ, ������ ���ֽ� ����� �������, �������б� â����, ������ȣ; 220-710 ��ȭ: 033-760-5230

 

This KSiS Silicon World was sent to KSiS members and News subscribers. If you would like to receive continuously, click YES, if not click NO: YES ; NO

 

Address: The Korean Silicon Society, Changjo-Kwan, Yonsei University, Yonseidae-Gil, Heungup-myun, Wonju City, Gangwon-do 220-710 , KOREA

 

Copyright © �ѱ��Ǹ�����ȸ (The Korean  Silicon Society). All Rights Reserved.